나노기술 및 정책 정보

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● 노준석 교수(포스텍) 및 이헌 교수(고려대), 전교선 박사(RIST) 공동 연구팀은 가시광선 대역 메타렌즈를 대량생산

● 연구팀은 반도체와 디스플레이 제작에 이용되는 포토리소그래피와 나노임프린트 리소그래피를 결합해 공정의 한계를 극복

● 고속전자빔으로 하나의 패턴을 만들고 불화아르곤(ArF) 포토리소그래피로 패턴을 복제해 12인치 크기 스탬프를 제작했으며, 스탬프와 나노임프린트 리소그래피를 이용해 1cm 지름을 가진 메타렌즈를 빠르게 찍어내는 데 성공

● 또한, 연구팀은 찍어낸 렌즈에 20㎚ 정도의 매우 얇은 이산화티타늄(TiO2) 막을 코팅해 렌즈 효율을 90%까지 향상시켰으며, 이어 빨강, 녹색, 파랑 이미지를 나타낼 수 있는 초경량 가상현실(VR) 기기를 제작해 메타렌즈 실용성도 입증

● 본 연구는 지난 20년간 상용화되지 못하고 연구 단계에만 머물렀던 메타물질 연구를 산업화 단계까지 끌어올려 실제로 적용될 수 있음을 보여준 것으로, 향후 메타렌즈 상횽화가 탄력을 받을 것으로 기대

Nature Materials (2023.03.23.), Scalable manufacturing of high-index atomic layer–polymer hybrid metasurfaces for metaphotonics in the visible