나노기술 및 정책 정보

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● 조영태 및 김석 교수(창원대) 연구팀은 이어 붙이는 과정에서 발생하는 이음매를 없앨 수 있는 '정렬마크 없는 미세패턴 정렬법'을 개발하고, 이를 통해 이음매를 최소화한 기능성 표면필름 대면적 대량생산 원천기술을 확보

● 연구팀은 단순한 주기적인 패턴을 서로 겹치는 것만으로 간섭으로 인해 나타나는 전혀 다른 기하학적 패턴, 즉 '모아레(Moiré)' 패턴을 분석하여 미세패턴을 고도로 정확하게 정렬하는 방법을 개발

● 해당 ‘정렬마크 없는 정렬방법’은 나노/마이크로 미세패턴을 저비용·고효율로 보다 넓은 면적에 빠르게 형성하는 나노생산의 고도화에 있어 진일보한 의미 있는 결과로, 미세패턴 대량생산뿐 아니라 기존 반도체 공정에서 포토리소그래피 공정, 또는 디지털 리소그래피 공정 등 정렬이 필요한 다양한 방면에 활용 가능할 것으로 기대

Nature Communications (2023.04.18.), Quasi-seamless stitching for large-area micropatterned surfaces enabled by Fourier spectral analysis of moiré patterns