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National Nanotechnology Policy Center

나노기술 및 정책 정보

GIST, 반도체 초정밀 작업에 쓰는 극자외선 생성

페이지 정보

발행기관
조선비즈
저자
 
종류
R&D
나노기술분류
나노공정·분석·장비
발행일
2023-05-11
조회
581

본문

● 김경택 교수(GIST) 연구팀은 액체막에 고출력 레이저를 모아 극자외선을 생성

● 연구팀은 액체막에 고출력 레이저가 닿으면 그 부분의 모양이 손상되긴 하지만 액체막은 빠르게 흘러내리기 때문에 사실상 손상되는 부분이 빠르게 복구된다는 점을 이용해 고체가 아닌 액체에 레이저를 모아 가두는 방식을 고안

● 연구팀은 해당 방식을 이용해 1kHz 수준의 고출력 레이저를 액체막에 쏴서 극자외선을 생성

● 본 연구성과는 초고속 레이저-플라즈마 상호작용 연구와 같은 기초연구뿐 아니라 산업현장에서도 활용 가능할 것으로 기대


Nature Communications (2023.04.22.), High-harmonic generation from a flat liquid-sheet plasma mirror