포스텍-고려대-RIST 공동 연구팀, 가시광선 대역 메타렌즈 대량 생산 공정 기술 개발
페이지 정보
- 발행기관
- POSTECH
- 저자
- 종류
- R&D
- 나노기술분류
- 나노공정·분석·장비
- 발행일
- 2023-04-26
- 조회
- 590
본문
● 노준석 교수(포스텍) 및 이헌 교수(고려대), 전교선 박사(RIST) 공동 연구팀은 가시광선 대역 메타렌즈를 대량생산
● 연구팀은 반도체와 디스플레이 제작에 이용되는 포토리소그래피와 나노임프린트 리소그래피를 결합해 공정의 한계를 극복
● 고속전자빔으로 하나의 패턴을 만들고 불화아르곤(ArF) 포토리소그래피로 패턴을 복제해 12인치 크기 스탬프를 제작했으며, 스탬프와 나노임프린트 리소그래피를 이용해 1cm 지름을 가진 메타렌즈를 빠르게 찍어내는 데 성공
● 또한, 연구팀은 찍어낸 렌즈에 20㎚ 정도의 매우 얇은 이산화티타늄(TiO2) 막을 코팅해 렌즈 효율을 90%까지 향상시켰으며, 이어 빨강, 녹색, 파랑 이미지를 나타낼 수 있는 초경량 가상현실(VR) 기기를 제작해 메타렌즈 실용성도 입증
● 본 연구는 지난 20년간 상용화되지 못하고 연구 단계에만 머물렀던 메타물질 연구를 산업화 단계까지 끌어올려 실제로 적용될 수 있음을 보여준 것으로, 향후 메타렌즈 상횽화가 탄력을 받을 것으로 기대
Nature Materials (2023.03.23.), Scalable manufacturing of high-index atomic layer–polymer hybrid metasurfaces for metaphotonics in the visible
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