나노기술 및 정책 정보

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● 김선국 교수(성균관대) 연구팀은 고감도, 광대역 및 초고속 동작 특성을 가진 나노다공성 MoS2 능동 픽셀 이미지 센서를 개발

● 연구팀은 물리적 기상증착방법에 화학적 기상증착법을 더한 2단계 성장법을 적용해 4인치 크기의 균일한 MoS2 필름을 제조했을 뿐 아니라, 블록공중합체 리소그래피 공정을 MoS2 상에 적용해 독특한 나노다공성 구조를 형성함으로써 재료의 광반응성을 500배 이상 향상시키고 가시광선-적외선에 이르는 광대역의 빛을 검출

● 또한, 연구팀은 MoS2 광센서를 고성능 IGZO 산화물 반도체 기반 스위칭/구동 트랜지스터와 통합하여 빠른 이미지 캡처 및 처리가 가능한 이미지 센서 픽셀을 제작

● 본 연구는 이차원 재료 기반 이미지 센서 집적회로의 상용화를 향한 주요한 발전을 이루어냈으며, 해당 기술은 추후 렌즈리스 카메라, 자율주행 자동차용 카메라, 의료용 이미지 센서 등을 포함한 다양한 응용 분야로 확장될 것으로 기대

Advanced Materials (2023.02.18.), A Wafer-Scale Nanoporous 2D Active Pixel Image Sensor Matrix with High Uniformity, High Sensitivity, and Rapid Switching