나노기술 및 정책 정보

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● 이웅규 교수(숭실대)는 세계 최초로 비정질 절연층과 결정질 반도체층의 이형 초격자 구조를 통해 계면 결함 생성을 억제하고 계면 특성을 제어

● 연구팀은 나노스케일의 정교한 박막 두께 조절을 통해 비정질 몰리브덴 산화물을 결정질 인듐 산화물 사이에 반복적으로 삽입해 반도체층의 격자 변형을 줄이고 결함의 형성과 전파를 억제하는 데 성공

● 또한, 최종적으로 절연층과 반도체층이 공존하는 초격자 구조에서 70cm2/Vs 이상의 우수한 전자 이동도를 달성해 소재의 전기적 특성을 개선

● 본 연구에서 개발한 이형 초격자 계면 결함 제어 기술은 최근 소자의 크기가 급격하게 작아지면 집적화에 난항을 겪고 있는 반도체 분야의 기술 한계 돌파에 기여할 것으로 전망

Advanced Materials (2023.03.11.), Realizing the Heteromorphic Superlattice: Repeated Heterolayers of Amorphous Insulator and Polycrystalline Semiconductor with Minimal Interface Defects