나노기술 및 정책 정보

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● 권오훈 교수(UNIST) 연구팀은 펨토초 레이저를 활용해 반도체 소재인 흑린에 나노미터 수준의 정확도로 미세패턴을 형성하고 다양한 형태의 나노 구조체를 만드는 데 성공

● 또한, 전 과정을 투과 전자현미경을 통해 실·시공간에서 직접 관측함으로써 나노 패턴이 형성되는 물리학적 이유와 그 근간이 되는 빛-물질 간 강한 상호작용을 설명할 수 있는 이론적 배경도 제시

● 투과 전자현미경을 활용해 광시야 포토리소그래피를 구현하고 패턴이 형성되는 과정을 실시간으로 관측하면서 2차원 반도체 소재에 높은 해상도로 정확한 패턴을 동시 구현

● 해당 연구는 빛-물질 간 비선형 상호작용에 대한 이해를 넓히고 광학 현상을 토대로 한 차세대 반도체 소자 제작 기술 개발 가능성을 확인

Nano Letters (2023. 03. 06.) Tailoring Two-Dimensional Matter Using Strong Light–Matter Interactions