나노기술 및 정책 정보

• 목록

● 한국(세종대 등) 및 미국(MIT 등) 공동 연구팀은 단일 웨이퍼에서 화합물 반도체 멤브레인을 다수 제작할 수 있는 고효율 층전사 기술을 개발

● 연구팀은 에피택시 기법을 통해 III-N 기질과 III-V 기질에서 2차원 물질을 성장시킴으로써 다수의 2차원 물질 층과 에피층이 번갈아 가며 있는 스택구조를 만들었으며, 기계식 층별 박리법으로 각 에피층을 분리해 단일 웨이퍼에서 다수의 독립형 멤브레인을 제작하는 데 성공

● 해당 기술은 희생층 에칭, 웨이퍼 연마 등 장시간이 소요되는 공정을 필요로 하지 않고 2차원 계면에서 원자 단위의 정밀도로 층을 박리함으로써 웨이퍼 재사용이 가능하기 때문에 멤브레인 제조원가를 크게 저감시킬 수 있을 것으로 기대

Nature Nanotechnology (2023.03.20.), High-throughput manufacturing of epitaxial membranes from a single wafer by 2D materials-based layer transfer process