나노기술 및 정책 정보

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● 마호진 및 박영조 박사(한국재료연구원) 연구팀은 반도체 제조 장비 내부의 오염 입자를 줄이는 내플라즈마성 세라믹 나노복합체 신조성 및 공정 기술을 국내 최초로 개발

● 연구팀은 기존의 단일 조성 세라믹이 아닌 나노복합체를 이용해 이트리아-마그네시아(YO3-MgO) 소재를 10nm 크기의 입자로 합성하고, 무기공 치밀체 소결 공정 기술을 통해 100% 밀도의 완전 치밀체를 제작

● 또한, 연구팀은 나노복합체의 미세구조 내 결정립 크기와 기공도에 따라 플라즈마 식각 후에 나타나는 표면 변화를 분석하여, 미세하고 균일한 미세구조 분포를 가진 나노복합체가 우수한 식각 저항성과 적은 표면 조도 변화를 가져온다는 사실을 규명

● 본 연구성과는 세계 최고 수준의 내플라즈마성 소재를 국내 기술로 개발한 대표적 사례임과 동시에, 소재 자립화를 통해 부품을 국산화하는 초석이 될 것으로 기대

ACS Applied Materials & Interfaces (2022.09.13.), Correlation with the Microstructure and Synergistic Physiochemical Etching Resistance of Nanocomposites under Fluorine-Containing Plasma Conditions