GIST 임현섭 교수팀, 실리콘 대체할 차세대 반도체 소재 합성법 개발
페이지 정보
- 발행기관
- 조선비즈
- 저자
- 종류
- R&D
- 나노기술분류
- 나노정보전자
- 발행일
- 2023-02-13
- 조회
- 620
본문
● 임현섭 교수(GIST 화학과) 연구팀은 1㎚보다 얇은 2D 몰리브덴 이황화물 합성법을 개발해 결정 입자 사이의 경계를 줄이고 생산 효율을 개선
● 연구팀은 무기 분자인 몰리브덴 테트라클로라이드(MoOCl₄)를 합성에 필요한 전구체로 사용해 2D 몰리브덴 이황화물의 합성 효율을 개선했으며, 알루미늄과 산소를 포함한 사파이어 기판을 활용하면 몰리브덴 이황화물이 더 빠르게 성장할 수 있다는 것도 확인
● 연구팀이 개발한 공정으로 만든 몰리브덴 이황화물은 1㎚ 이하의 두께로, 결정 입자 사이 경계면에서 전자의 이동 속도가 느려지는 단점을 해결할 수 있을 전망
● 본 연구 결과는 2D 반도체 나노물질인 몰리브덴 이황화물을 차세대 반도체 소재로 활용하는 시점을 앞당기고, 다른 2D 나노물질의 대면적 단결정 합성 공정 개발에도 기여할 것으로 기대
ACS Nano (2023.01.12.), Critical Role of Surface Termination of Sapphire Substrates in Crystallographic Epitaxial Growth of MoS2 Using Inorganic Molecular Precursors
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