나노기술 및 정책 정보

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● 김정원 교수(KAIST) 연구팀은 반도체 소자 안의 복잡한 3차원 미세 구조와 움직임을 고해상도로 측정 가능한 초고속 카메라 기술을 개발

● 연구팀은 100펨토초 빛 펄스를 1,000개 이상의 색으로 쪼갠 후, 각기 다른 색을 가진 펄스들을 이용해 서로 다른 공간에서 높낮이를 측정

● 해당 기술은 초당 2.6억 개 픽셀의 높낮이 차이를 330피코미터 수준까지 측정 가능

● 본 연구의 초고속 카메라 기술로 반도체 및 3D 프린팅 공정을 실시간으로 모니터링하며 제어할 수 있어, 공정 수율을 높일 것으로 기대

Light: Science & Applications (2023.01.15.), Massively parallel electro-optic sampling of space-encoded optical pulses for ultrafast multi-dimensional imaging