나노기술 및 정책 정보

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● 진형민 교수(충남대학교 유기재료공학과), 김상욱 교수(KAIST) 및 김재업 교수(UNIST) 공동 연구팀은 차세대 반도체 패터닝 기술인 ’블록공중합체 나노패터닝’을 통해 손쉽게 그래핀 등의 2차원 신소재를 나노패턴화 할 수 있는 기술을 개발

● 연구팀은 개발한 기술을 2차원 소재의 모양 제어 전략으로 도입했으며, 8nm급 블록공중합체 나노패턴이 정렬을 위한 추가 공정 없이 그래핀, MoS2, h-BN 등의 2차원 소재 가장자리를 따라 정렬될 수 있음을 발견

● 또한, 자발적으로 정렬된 블록공중합체 나노패턴을 하부 그래핀에 패턴 전사함으로써 선폭 8nm급 고품위 그래핀 나노리본을 손쉽게 제작했으며, 이를 이용해 반도체소자(전계효과트랜지스터, FET)를 제작해 우수한 스위칭 특성(최대 on-to-off ratio≈6x104)을 확인

● 해당 기술은 가장 손쉽고 값싸게 2차원 소재의 형태를 제어할 수 있는 방법 중 하나로, 그래핀, MoS2, h-BN 등 다양한 2차원 소재의 형태를 제어할 수 있는 범용성을 가지고 있어 반도체소자뿐 아니라 스마트센서, 촉매 등 다양한 분야에 적용 가능할 전망

Advanced Materials (2022.10.27.), Atomically Flat, 2D Edge-Directed Self-Assembly of Block Copolymers