나노기술 및 정책 정보

• 목록

● 이한보람 교수(인천대학교 신소재공학과) 연구팀은 삼성종합기술원과 지난 3년간 공동연구를 진행하여 10나노미터 이하의 3차원 반도체 소자에서 균일한 박막을 증착하는 획기적인 기술을 발표

● 공동 연구팀은 표면에서 분자수준의 화학반응을 조절하여 3차원 구조 입구 주위의 증착은 억제시키고 3차원 구조 내부부터 증착되는 선택적 증착법을 개발하여 매우 복잡한 구조에서도 빈 공간 없이 빽빽하게 박막 물질을 채워 넣을 수 있는 기술을 개발

● 본 연구를 통해 개발된 기술은 미래 반도체 기술에 있어 필수적이며, 한국 반도체 산업이 전 세계 반도체 기술을 한 단계 끌어 올릴 수 있을 것으로 기대

Nature Nanotechnology (2022.12.09.), Gradient area-selective deposition for seamless gap-filling in 3D nanostructures through surface chemical reactivity control