나노기술 및 정책 정보

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● 오버레이 계측장비 제조업체 오로스테크놀로지가 최첨단 반도체 공정을 위한 계측 기술력 강화를 위해 연세대 공과대학 내 초정밀 광 기계기술 선도연구센터(ERC)와 ‘첨단 나노계측 연구센터’를 설립

● ERC는 국내 유수대학의 신진연구자들이 특정 분야를 집중적으로 연구하기 위해 모인 기관이며 첨단 나노계측 연구센터는 산학협력을 통해 순수 국내 계측기술을 발전시키고 연구 환경을 개선하기 위한 기관으로, 양 기관은 고난도 기술과 미래 유망 기술의 발굴 및 공동 연구개발을 진행할 예정

● 특히 반도체 공정이 미세화될수록 더 작은 단위의 오차를 측정해낼 수 있는 계측기술에 대한 필요성도 높아짐에 따라, 기존 오버레이 기술의 향상은 물론, 새로운 개념의 장비를 적극 개발하고 오버레이 광학이 아닌 백색광 간섭계(WLI) 기반의 반도체 전공정용 Profiling 장비를 개발할 계획