나노기술 및 정책 정보

• 목록

● 나노종합기술원은 세계적 반도체 장비 기업인 ASML코리아와 반도체 핵심 노광장비 부품 신뢰성 테스트를 위한 협력 프로젝트를 추진할 예정

● ASML은 전 세계적으로 안정적인 장비 유지보수 서비스 제공을 위한 부품 테스트베드 협력 기관이 필요했으며, 이에 따라 나노기술원이 보유한 노광장비를 활용해 핵심 장비 부품의 신뢰성 검증 가능성을 확인하고 나노기술원에 부품 개발 협력을 요청

● 이번 협력은 나노기술원이 노광장비 분야에서 전 세계 독점적 지위를 누리는 ASML과 협력해 반도체 부품 신뢰성 실증 평가를 지원할 수 있는 세계적 수준의 반도체 테스트베드로 인정받고 있음을 의미

● 나노종합기술원은 향후 국내외 반도체 소부장 제품개발 지원 역할을 강화해 나갈 예정