성균관대, 반도체 나노박막 대면적 제조공정 개발
페이지 정보
- 발행기관
- 성균관대학교
- 저자
- 종류
- R&D
- 나노기술분류
- 나노공정·분석·장비 > 나노증착 기술
- 발행일
- 2024-10-10
- 조회
- 55
본문
● 강보석 교수(성균관대) 연구팀은 반도체 나노박막 합성 및 증착 일체형 공정인 ‘원격 ADC*-양극성 전기 중합법’을 개발하여 기존 기상화학증착법의 단점을 극복
* ADC(교직류) : Direct-current voltage superimposed on alternating-current voltage, 교류 전압과 직류 전압을 중첩한 전원을 의미
● 연구팀은 교류 전압과 직류 전압을 중첩한 ADC 양극성 전기화학 원리를 기반으로, 이중 양극성 전극을 도입함으로써 반도체층을 임의의 비전도성 기재 위에 수평으로 성장시키는 데 성공
● 연구팀은 2인치 크기의 다양한 기재 위에 PEDOT 반도체 나노박막을 단 수 분 내로 빠르게 성장시켰으며, 전기전도도와 분자배향 분석을 통해 유연 전자소자 구현에 유리한 비등방적 전하 수송 특성을 증명
● 연구팀은 반도체 나노박막이 사용된 열전도대를 통해 뇌 온도 모니터링이 가능함을 보이고, 이를 통해 신경 온도계 및 웨어러블 센서 등 다양한 유연 생체소자와 센서 분야에서의 응용 가능성을 확인
● 본 연구는 유연 전자소자용 대면적 반도체 나노박막을 단시간에 저비용으로 대량 생산할 수 있는 기술을 개발하여, 향후 뇌-컴퓨터 인터페이스 기반 차세대 인공지능 및 사물인터넷(IoT) 응용 기술에 활용될 것으로 전망
Advanced Functional Materials (2024.06.18.), Remote-Controllable Lateral Electropolymerization of Conducting Polymers via Dual-Electrode ADC-Bipolar Electrochemistry
※ 한국연구재단과 과학기술정보통신부의 나노소재기술개발사업 지원
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