나노기술 및 정책 정보

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● 나노종합기술원은 반도체 테스트베드 기반 소부장 서비스 영역 확대, 시스템반도체 지원역량 강화를 위해 삼성에서 보유한 12인치 반도체 장비 3대를 나노팹에 이전 설치

● 나노종합기술원은 삼성 보유 가용장비를 공공나노팹 시설에 저가 이전할 수 있도록 추가 협의해 지난해 3대에 이어 올해 3대 등 장비를 이전

● 올해 삼성 이전 장비는 300㎜ 금속박막 증착 스퍼터링(Sputtering), 실리콘 산화막 및 질화막 식각장비, 폴리실리콘 식각장비다. 다중체임버로 구성돼 다양한 소재·부품·장비 개발 및 실증테스트, 기존 200㎜ 공정장비와 연계한 300㎜ 수준 차세대 시스템반도체 개발에 활용 가능

● 이번 이전을 계기로 소부장 테스트베드 장비 확충 및 고도화, 신뢰성 있는 차세대 선행기술개발 및 시제품 제작·성능평가 실증데이터 제공에 나선다. 종합반도체 대기업-중소기업-공공 테스트베드 간 연계협력 생태계 기반 구축도 추진할 예정