나노기술 및 정책 정보

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● 신흥주ㆍ김재준 교수(울산과학기술원) 공동 연구팀은 나노공정과 딥러닝 기술을 결합해 가스의 종류와 농도를 정밀하게 측정할 수 있는 전자코를 구현

● 연구팀은 히터를 1D 나노구조(길이: 175μm, 지름: 약 270nm)로 제작하고 그 위에 반도체 나노물질을 집적하여 ‘전자코’ 센서를 제작

● 연구팀은 3차원 나노사이즈의 히터임에도 제작공정은 일반적인 반도체 공정을 기반으로 하여 6인치 웨이퍼에 대량생산이 가능하도록 개발

● 연구팀은 전력을 주기적으로 공급하고 차단해 에너지 사용을 최소화하는 듀티 사이클링 기술을 도입해 전력 소모를 추가로 90%까지 감소시키도록 설계

● 본 연구는 지속적으로 가스를 저비용을 분석할 수 있는 장치가 필수적인 실내 공기질 모니터링, 조기 질병 진단, 산업용 가스 누출 감지, 식품 신선도 모니터링 등 다양한 응용 분야에 활용될 전망

ACS Sensors (2024.06.10.), Ultralow-Power Single-Sensor-Based E-Nose System Po0wered by Duty Cycling and Deep Learning for Real-Time Gas Identification

Small (2022.09.30.), Batch Nanofabrication of Suspended Single 1D Nanoheaters for Ultralow-Power Metal Oxide Semiconductor-Based Gas Sensors