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National Nanotechnology Policy Center

나노기술 및 정책 정보

중국 in situ TEM에 적용 가능한 그래핀 마이크로히터 칩 개발

페이지 정보

발행기관
망이
저자
 
종류
R&D
나노기술분류
나노공정·분석·장비
발행일
2022-12-21
조회
1,006

본문

자오제(칭화대학교 물리학과 저차원양자물리국가중점실험실), 량량(국가나노센터) 연구팀은 in situ TEM에 적용 가능한 그래핀 마이크로히터 칩을 개발

연구팀은 2차원 소재인 그래핀으로 전통적인 금속 저항 히터를 대체, in situ 히터칩의 성능을 대폭 제고

이 마이크로히터 칩은 0.025mW/1000μm2의 낮은 전력 소비량으로 26.31ms 내에 800까지 가열 가능

또한, 650까지 가열됐을 때 가열로 인한 변형은 50nm에 불과하며, 이는 전통적인 금속 히터칩의 100분의 1에 불과하여 팽창에 의한 초점 불일치 문제를 해결할 수 있을 것으로 기대


Nano Letters (2022.12.14.), Graphene Microheater Chips for In Situ TEM