나노기술 및 정책 정보

• 목록

● 노모토 준이치 연구원(산업기술종합연구소) 연구팀은 세계 최고의 전자 이동도를 특징으로 하는 가시광선~근적외선 대역(파장 1550nm)에서 높은 투과성을 갖는 유연 필름을 개발

● 내열성이 낮은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 수지 기판 상에 미량의 수소(H)와 세륨(Ce)을 첨가한 비정질 산화인듐(In2O3: Ce, H 이하 ICO: H)의 투명 도전막을 자외선 엑시머 레이저 조사 기술을 이용하여 기판에 열 손상을 주지 않고 결정화하는 데 성공했으며, 미량의 수소를 첨가한 비정질 박막은 결정화됨으로써 높은 전자 이동도를 구현

● 기존 재료인 주석 첨가 In2O3(ITO) 유연 투명 도전막의 약 20cm2/Vs를 넘는 세계 최고의 전자 이동도인 133cm2/Vs를 PET 수지 기판 상에서 실현했으며, 이러한 높은 전자 이동도는 낮은 전자 밀도에서도 높은 도전성을 제공하여 가시광선에서 근적외선 대역까지의 넓은 파장 대역에서 높은 투명성 구현이 가능

NPG Asia Materials (2022.09.16.), Over 130cm2/Vs Hall mobility of flexible transparent conductive In2O3 films by excimer-laser solid-phase crystallization