중국 in situ TEM에 적용 가능한 그래핀 마이크로히터 칩 개발
페이지 정보
- 발행기관
- 망이
- 저자
- 종류
- R&D
- 나노기술분류
- 나노공정·분석·장비
- 발행일
- 2022-12-21
- 조회
- 1,008
- 출처 URL
본문
●자오제(칭화대학교 물리학과 저차원양자물리국가중점실험실), 량량(국가나노센터) 연구팀은 in situ TEM에 적용 가능한 그래핀 마이크로히터 칩을 개발
●연구팀은 2차원 소재인 그래핀으로 전통적인 금속 저항 히터를 대체, in situ 히터칩의 성능을 대폭 제고
●이 마이크로히터 칩은 0.025mW/1000μm2의 낮은 전력 소비량으로 26.31ms 내에 800℃까지 가열 가능
●또한, 650℃까지 가열됐을 때 가열로 인한 변형은 50nm에 불과하며, 이는 전통적인 금속 히터칩의 100분의 1에 불과하여 팽창에 의한 초점 불일치 문제를 해결할 수 있을 것으로 기대
Nano Letters (2022.12.14.), Graphene Microheater Chips for In Situ TEM
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