일본 캐논, 반도체 후공정용 ‘i선 노광장치’ 생산능력 2배 확대
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- 발행기관
- NEWSWITCH
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- 종류
- 산업
- 나노기술분류
- 나노공정·분석·장비
- 발행일
- 2024-08-15
- 조회
- 126
- 출처 URL
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- https://newswitch.jp/p/42594 84회 연결
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● 캐논은 내년에 반도체 후공정용 i선 노광장치의 연간 생산능력을 현재의 2배 수준인 최대 80대로 확대할 방침
● 캐논은 최근 인공지능(AI) 반도체 수요가 증가하면서 TSMC 등 파운드리(반도체 위탁생산) 업체가 AI 반도체 후공정에 투자를 늘리고 있는 점을 고려해 생산능력을 확대하기로 결정
● 캐논은 반도체 제조 장치의 주력 생산 거점인 우쓰노미야 사업장에 새 공장을 건설해 내년부터 가동을 시작할 예정이며, 새 공장에서 후공정용 노광장치와 더불어 앞으로도 수요 증가가 기대되는 전력반도체용 노광장치의 생산능력을 확대할 계획
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