나노기술 및 정책 정보

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● 도시바가 산화이리듐 나노시트 적층 촉매를 독자적으로 개발하고 희귀 금속인 이리듐 사용량을 1/10로 감축

● 성막 기술인 스퍼터링 공법을 이용하여 산화이리듐 나노시트와 공극층이 교대로 배치된 적층 촉매 구조를 개발했으며, 진공 조건 하에서 ‘타깃’이라 불리는 성막 재료에 아르곤 등의 이온을 충돌시켜 반사되는 입자를 기재에 퇴적시키는 방법으로 본 기술을 개발

● 이리듐을 포함한 복수의 금속 ‘타깃’의 퇴적 배분 비율이나 산소 투입량 등의 성막 조건을 변경한 촉매 설계로 한 번에 최대 5㎡ 성막 가능한 기술을 개발하여 전극의 대형 제조 기술을 확립

● 나노미터 수준에서 막 두께를 제어할 수 있어 이리듐의 사용량이 적은 경우에도 균일한 산화이리듐 층을 성막 가능