나노기술 및 정책 정보

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● James Hwang 교수(Cornell University) 연구팀은 해당 연구팀이 개조한 가정용 전자레인지가 차세대 반도체 연구에 긍정적 영향을 미칠 것이라는 결과 발표

● 해당 전자레인지는 용해 한도 이상의 인이 도핑된 실리콘 나노시트의 마이크로웨이브 어닐링으로 실리콘 결정의 과도한 가열이나 손상 없이 도펀트의 적절한 활성화를 가능하게 한다는 점이 특징

● 현재 몇몇 기업에서 3나노미터 반도체 재료를 생산하고 있는데 이 새로운 방식을 사용하면 2나노미터 반도체 재료의 생산도 가능해짐. 이 방식은 마이크로칩에 사용되는 트랜지스터의 기하학적 구조를 바꿀 수 있어 트랜지스터의 밀도 및 제어, 마이크로웨이브 어닐링에 의해 활성화되어 고농도로 도핑된 재료는 새로운 아키텍처의 핵심이 될 것으로 기대되며, 2025년경 상용화 가능할 것으로 전망 

Applied Physics Letters (2022.08.03.), Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit