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National Nanotechnology Policy Center

나노기술 및 정책 정보

일본 1조분의 4미터의 정확도로 진동량을 정확하게 결정하는 데 성공

페이지 정보

발행기관
게이오대학교
저자
 
종류
R&D
나노기술분류
나노공정·분석·장비
발행일
2022-10-05
조회
936

본문

● 이와사키 아야카 대학원생(게이오대) 연구팀은 탄성 표면파 디바이스의 표면에서 일어나는 매우 작은 진동 현상의 변위를 듀얼 콤 간섭계에서 최고 정밀도인 1조분의 4미터(4pm)의 정밀도로 탄성 표면파의 진동량을 결정하는 데 성공

● 복수 파장 빛의 간섭 계측을 동시에 실현할 수 있는 듀얼 콤 간섭계를 이용하여 관측하고 싶은 반사면으로부터 신호만을 분리 추출하여 측정의 정량성을 향상

● 동일한 광학 경로를 서로 반대로 통과하는 두 개 빛의 위상을 비교하기 위해 광학 시스템을 고안함으로써, 광학 경로의 불안정성 영향을 제거한 계측 불확도가 낮은 측정계를 실현


APL Photonics (2022.10.03.), Dual-comb ranging yields reliable surface acoustic wave amplitude measurements