나노기술 및 정책 정보

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● 이탈리아 Politecnico di Torino의 Stefano Stassi 교수 연구팀은 3D 프린팅을 이용하여 Si 나노공진기와 대등한 특성을 가지면서 저렴한 나노공진기를 개발

● 기계적인 요소와 전기적인 요소를 마이크로미터 크기로 집적화한 MEMS와 비교하여 보다 향상된 민감도를 갖는 NEMS (Nano-electro-mechanical devices) 센서의 높은 제작비용을 감소시키는 대체 공정으로서 3D 프린팅 기술이 가능성을 제시하였으나 질량 센서로서의 성능은 미흡

● 연구팀은 광조형 후 열공정을 통해 유기 성분을 제거하여 높은 강성을 갖는 세라믹 구조체를 형성함으로써 현재 사용되고 있는 Si 소자와 대등한 기계적 성능을 갖는 NEMS 제작

● 연구팀은 빠르고 쉬운 3D 프린팅 공정을 이용하여 Si 기반 소자와 대등한 성능을 갖는 초소형 소자를 제작할 수 있게 됨으로써 적층제조 분야에 새로운 지평을 열 것으로 기대

※ 용어설명

- 나노공진기(Nanoresonator): 나노미터(nm) 크기의 변위 구동을 이용하여 공진 현상이나 움직임을 측정하는 장치 

※ Nature Communications 게재(2021.10.19.), “Reaching silicon-based NEMS performances with 3D printed nanomechanical resonators”