나노기술 및 정책 정보

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● 덴마크 Denmark Technical University Peter Bøggild 교수 연구팀은 나노소재를 더 낮은 전력소비와 나은 성능으로 향상시킬 수 있는 수 있는 패터닝(patterning) 기술을 개발 

● 해당 연구로 개발한 패터닝(patterning) 기술은 질화붕소 소재의 결정체를 식각(etched)할 수 있어 흐릿하게 보이던 패턴이 선명한 형태로 변형되며, 변형과 함께 형성된 천공(perforation)은 그래핀의 부품과 회로를 그리는 섀도 마스크(shadow mask)로 사용 가능

● 연구팀이 개발한 전자빔 리소그래피 시스템은 10nm까지 세부 사항을 기록할 수 있으며, 컴퓨터를 활용하여 그래핀 패턴의 모양과 크기를 정확하게 예측하여 새로운 유형의 전자제품을 개발할 수 있고, 전자 및 양자 특성을 이용하여 훨씬 적은 전력을 소비하여 고속 계산이 가능

● 연구팀은 이전 연구에서 12nm 간격으로 배치된 원형 구멍을 2차원 그래핀 반도체로 변환 및 개발에 성공했으며, 현재 날카로운 모서리를 가진 삼각형 구멍과 같은 다른 모양을 만드는 방법도 개발

※ ACS Applied Materials & Interfaces 게재(2021.08.25.), “Super-Resolution Nanolithography of Two-Dimensional Materials by Anisotropic Etching”