나노기술 및 정책 정보

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● 이화학연구소(RIKEN) 방사광과학연구센터 XFEL연구개발부문 빔라인연구개발그룹 빔라인개발팀, 나고야(名古屋)대학 대학원 공학연구과 등의 공동 연구그룹이 대형방사광시설 ‘SPring-8’에 있어 ‘주사형 X선 현미경(Scanning Electron Microscope)’용 새로운 정밀 검사 기술‘X선 나노 프로브 스캐너’를 개발

● 연구팀은 X선 프리즘과 반사형 X선 렌즈를 조합함으로써 시료를 움직이지 않고 X선을 주사(스캔)하는 X선 나노 프로브 스캐너를 세계 최초로 개발

● X선 프리즘의 높은 편향각 제어 기능과 반사형 X선 렌즈의 넓은 시야각을 활용함으로써 고정밀 나노 프로브 스캔을 가능하게 하는 획기적인 기술임. 50nm 크기에 집광된 가느다란 나노 프로브에 의해 주사형 X선 현미경상을 취득에 성공

● 기존 기술의 10~20배 정도에 해당하는 1nm 수준(원자 몇 개분에 해당)의 스캔 정밀도를 제공

● 본 연구 성과는 최근 세계 곳곳에서 건설·운용되고 있는 X선 자유전자레이저(XFEL)와 차세대 방사광시설에 있어 나노 분해능을 갖는 X선 현미경 관찰이나 X선 분광 분석에 도움을 줄 것으로 기대

※ IUCrJ 게재, "Hard X-ray nanoprobe scanner"