나노기술 및 정책 정보

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● 중베이대학 Jijun Xiong 교수 연구진은 기존 반도체 공정에 호환될 수 있는 나노 포레스트(Nano forest) 구조를 형성하는 공정을 개발

● 플라즈몬 효과를 구조는 높은 흡수 주파수 대역의 대역폭이 비교적 좁기 때문에 광에 대한 이용 효율이 감소되며, 기존의 공법으로 제작할 경우 첨단 설비에 의존해야한다는 단점을 보유

● 연구진은 실란 커플링제(silane coupling agent)를 첨가한 폴리아미드를 이용하여 플라즈마 폭격(plasma bombardment)으로 나노 포레스트 구조를 형성하는 간단한 제조 공법을 개발하였으며, 해당 공법은 일상적인 반도체 공법은 완전한 호환성을 보유

● 연구진은 관련 연구 결과를 기반으로 일종 실버 나노 입자가 커버하는 상황에서의 복합 나노 숲 구조를 제시하고, 실버 나노 입자 간의 국지 구역 표면 플라즈몬 공명, 나노 섬유 간의 캐비티(Cavity) 공명 및 나노 섬유 내부의 도파(waveguide) 모델 공명을 이용하여 다중 하이브리드 플라즈몬 효과를 실현하였으며, 300-2,500nm 와이드 밴드(wide band)에서 90% 이상의 평균 흡수율을 달성

● 연구진은 플라즈몬의 광-열 전환 효과를 이용하여 복합 나노 포레스트 구조가 MEMS 열전퇴 센서(thermopile sensor) 상에서의 원 위치 집적을 실현한 동시에 최대 433%의 광전환 효과 향상

※ Advanced Function Materials 게재(2021.07.19.), "Quasi-ordered nanoforests with hybrid plasmon resonances for broadband absorption and photodetection"