일본 원적외선 센서 감도 향상 기술 개발
페이지 정보
- 발행기관
- 파나소닉
- 저자
- 종류
- 산업
- 나노기술분류
- 발행일
- 2021-04-16
- 조회
- 1,873
본문
파나소닉(Panasonic)이 '음향양자 결정(phononic crystal)'구조를 탑재한 원적외선 센서의 감도 향상 기술을 개발함.
'음향양자결정'구조는 일반적인 실리콘(Si)의 단열 성능을 나타내는 물성치 한계를 크게 뛰어넘을 수 있음. 파나소닉은 주기 100nm 미만의 '음향양자 결정'의 양산 적용이 가능한 공정 기술을 개발, Si 웨이퍼에 수십 nm의 크기의 구멍을 가지며 정렬 주기를 치밀하게 제어한, '음향양자 결정'구조를 형성하고, Si 재료의 물성치 한계를 약 10배를 웃도는 단열 성능을 얻는 데 성공함.
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