나노기술 및 정책 정보

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● Shengjun Zhou 교수(Wuhan University) 외 공동 연구팀은 LED 등 광전자소자의 곡면에 생체모방형 미세구조를 높은 효율과 품질로 가공할 수 있는 플렉서블 나노임프린트 리소그래피 기법을 개발

● 연구팀은 생체모방형 미세구조 배열과 플렉서블 나노임프린트 몰드를 설계하고 열압축성형, 임프린팅, 자외선 조사, 2단계 에칭 공정을 통한 겹눈형 실리카 미세구조 템플릿 제작을 통해 미세구조를 유연성 있게 전사할 수 있는 기능을 구현

● 본 연구의 리소그래피 기법은 투영 리소그래피에 비해 6.4배 높은 생산성과 25%의 비용절감을 달성할 수 있으며, 실리카 미세구조 템플릿을 이용해 LED용 질화갈륨 결정의 성장거동을 제어하고 LED 광추출효율을 대폭 개선할 수 있는 것으로 확인

● 본 연구는 LED 소형화 추세에 알맞게 높은 효율로 미세구조를 제작하고 광전자소자의 발광성능을 개선할 수 있는 방법을 제시

Science Bulletin (2024.04.16.), Flexible nanoimprint lithography enables high-throughput manufacturing of bioinspired microstructures on warped substrates for efficient III-nitride optoelectronic devices