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▶ 신에너지·산업기술종합개발기구(NEDO), ‘포스트 5G 정보 통신 시스템 기반 강화 연구개발 사업/첨단 반도체 제조 기술개발’ 사업 실시 기관 선정

□ 개요

신에너지·산업기술종합개발기구(NEDO)가 ‘포스트 5G 정보 통신 시스템 기반 강화 연구개발 사업/첨단 반도체 제조 기술개발’에 관한 공모를 실시, 심사를 거쳐 실시 예정 기관을 선정함. 5세대 이동 통신 시스템(5G)은 현재 각국에서 상용 서비스가 시작되고 있지만, 초저지연과 다수 동시 접속 등의 기능이 보다 강화된 5G(포스트 5G)는 향후 공장이나 자동차 등 다양한 산업 용도로 활용될 것으로 예상되고 있으며, 일본 경쟁력의 핵심이 될 기술로 기대됨. 신에너지·산업기술종합개발기구(NEDO)는 본 사업에 있어 향후 포스트 5G 정보 통신 시스템에 사용되는 첨단 반도체를 일본에서 제조하는 기술을 확보하기 위해 다음의 개발에 임할 계획임.

○ 첨단 반도체 제조 기술개발(조성)

파일럿 라인 구축 등을 통해 첨단 반도체 제조 프로세스 중 전(前) 공정에 관한 제조 기술(미세화(More Moore) 기술)을 개발하게 됨. 구체적으로 2nm 이후의 프로세스 노드※의 첨단 반도체에 요구되는 고성능의 노광·미세 가공 기술, 증착 기술, 어닐링 기술, 에칭 기술, 세정 기술 등 중 특히 신규 개발 및 대폭적 성능 개선이 필요한 제조·프로세스 기술 등을 개발함과 동시에 파일럿 라인 구축 등을 통해 미세 가공 처리한 실 웨이퍼에 의한 제조 장치의 평가·검증을 실시함으로써 일본이 아직 갖추지 못한 첨단성을 갖는 로직 반도체 제조 기술을 확립하게 됨.

※ IEEE의 IRDS(International Roadmap for Devices and Systems) 2020중의 ‘Logic industry [Node Range] labeling(nm)’에서의 ‘2.1’이상을 의미.

○ 사업기간은 연구개발 개시로부터 5년 이내임

□ 채택 테마 및 실시 예정 기관