나노기술 및 정책 정보

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● 히타치하이테크는 도쿄대학이 개발한 레이저 광방출 전자 현미경(Laser-PEEM)의 유용성이 확인됨에 따라 반도체 검사 장치로 상용화하기 위해 공동 연구를 추진한다고 발표

● 해당 현미경은 도쿄대학이 개발한 고분해능화 기술이 탑재돼 잠상패턴 등 소재가 가진 화학 정보를 관찰하거나 나노 크기의 입체 구조를 파괴 없이 관찰 가능

● 히타치하이테크는 도쿄대학이 개발한 현미경을 이용해 반도체 웨이퍼 내부 10~100nm 깊이에 있는 결함도 파괴 없이 투과해 관찰할 수 있음을 확인

● 이 현미경이 상용화되면, 회로 패턴 검사 공정이 대폭 단축되는 것은 물론, 반도체 수율 향상 효과도 있을 것으로 기대