중국 2차원 반도체 3차원 집적 연구의 새로운 성과
페이지 정보
- 발행기관
- 중국과학원
- 저자
- 종류
- R&D
- 나노기술분류
- 나노정보전자 > 나노융합 시스템반도체 및 전력소자
- 발행일
- 2024-06-05
- 조회
- 236
- 출처 URL
본문
● Zheng Han 교수(Shanxi University), Xiuyan Li 연구원(Chinese Academy of Sciences) 등 공동 연구팀이 새로운 인터페이스 결합(양자효과에 핵심적인 역할을 한다는 이론) 기반의 p-도핑 2차원 반도체 방법을 제시
● 연구팀은 인터페이스 효과의 파괴적 경로를 선택함으로써 공정이 간단하고 효과가 안정적이면서 2차원 반도체 특성의 우수한 성능을 효과적으로 유지할 수 있는 방법을 구현
● 이어 연구팀은 해당 방법을 통해 실리콘 기반 논리회로의 하위 레이어(bottom layer)의 ‘한계’를 극복하고 양자효과 기반의 3차원 수직 집적 다층 상호보완형 트랜지스터 회로를 개발
● 연구팀이 개발한 방법은 포스트 무어 시대의 미래 2차원 반도체 소자의 발전에 아이디어를 제공
Nature (2024.05.29.), Van der Waals polarity-engineered 3D integration of 2D complementary logic
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