일본 미세한 원자 세선으로 이루어진 대면적 박막 실현
페이지 정보
- 발행기관
- 산업기술종합연구소
- 저자
- 종류
- R&D
- 나노기술분류
- 발행일
- 2020-12-14
- 조회
- 2,435
본문
도쿄(東京)도립대학 이학연구과 물리학전공, 산업기술종합연구소(AIST) 극한기능재료연구부문 등의 공동 연구그룹이 원자 3개 정도의 박막 구조를 갖는 ‘전이 금속 모노 칼코게나이드(Transition Metal Mono Chalcogenides, TMC)’의 새로운 합성 기술을 개발하고, 대면적 박막의 합성과 그 원자 세선(細線)의 다발 모양 구조 등의 형성, 광학 응답·전기 전도 특성을 최초로 규명함. 연구팀은 지금까지 개발해온 원료(전이 금속과 칼코겐 원소)를 기상으로 기판에 공급하는 ‘화학 기상 증착법’을 이용했으며, 이 방법으로 성장 조건을 조사하고 센티미터 크기 기판 위에 TMC 원자 세선이 수십~수백 개 집적되어 만들어진 나노 섬유로 이루어진 네트워크 형 박막을 합성하는 데 성공함. 또한, 기판 표면의 결정 구조를 이용하여 나노 섬유가 한 방향으로 배향된 박막을 얻을 수 있음을 확인함. 개별 TMC 원자 세선과의 집적체가 높은 결정성을 갖는 것 외에도 나노 와이어가 평면으로 배열된 단층·2층 시트, 높이 방향으로도 세선이 집적된 3차원적 다발 구조를 형성하는 것을 발견함. 이 TMC 원자 세선의 빛 산란을 측정한 바, 1차원적 구조를 반영한 광학 응답을 나타내는 것을 확인했으며, 이러한 세선이 모인 다발과 그 네트워크상형 박막이 높은 전기 전도성과 낮은 온도에서 전기 저항 감소 등 금속으로서의 성질을 나타내는 것을 실험적으로 규명하여 제1원리 전자 상태 계산 예측과 일치하는 것을 확인함. 이러한 미세 나노 세선 다발 및 박막을 사용함으로써, 1차원에 갇힌 전자의 특수한 성질 규명과 제어, 미세 배선 및 투명하고 유연한 전극, 매우 작은 전력으로 움직이는 전자 디바이스·센서, 고효율 에너지 변환 소자 등에 응용될 것으로 기대됨.
본 연구 성과는 ‘Nano Letters’ (“Wafer-Scale Growth of One-Dimensional Transition-Metal Telluride Nanowires”) 지에 게재됨.
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