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National Nanotechnology Policy Center

나노기술 및 정책 정보

일본 MEMS 기반 CO2 검출용 가스 센서

페이지 정보

발행기관
TDK
저자
 
종류
산업
나노기술분류
 
발행일
2021-01-08
조회
2,422

본문

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TDK가 가정용, 자동차, IoT, 의료용 용도 CO2를 직접·정확하게 검출할 수 있는 소형 초저전력 MEMS 가스 센서 플랫폼 ‘TCE-11101’을 개발·출시함.


‘TCE-11101’는 소형·초저전력이라는 점에서 벽 콘센트로부터의 전원 공급을 필요로 하지 않는 휴대형 컨슈머 장치에도 활용이 가능함. ‘TCE-11101’은 5mmx 5mmx1 mm의 28핀 LGA 패키지에 수납되어 외부 부품을 최소화함.


현재 일반적인 가스 센서는 고가의 광학 기술이 이용되고 있으며, 패키지가 크고 전력을 많이 소비하며,‘eCO2’방식으로 인해 정확도가 낮았음.

TDK의 ‘TCE-11101’은 새로운 재료 개발, MEMS 공정 기술, AI 및 기계 학습 기능을 조합한 혁신적인 기술 플랫폼을 기반으로 기존의 센서보다 작고 정밀한 솔루션을 제공함. 1mW 이하의 전력으로 CO2 가스 농도를 정확히 측정할 수 있으며, 실내 공기 품질 모니터링 등의 용도에 적합함. 수요기반 환기 시스템(Demand-Controlled Ventilation, DCV) 등의 용도로는, 스마트 빌딩 및 스마트 홈에서 공간 CO2 농도의 정확한 측정 데이터를 통해 HVAC(냉난방 공조 설비) 시스템의 세밀한 컨트롤을 가능하게 하여 HVAC 시스템 전력을 최적화할 것으로 기대됨.


※ 제품의 특징
- 초저전력
- 직접 CO2 검출 방식
- 디지털 인터페이스(I2C)
- 소형 폼 팩터
- 폭 넓은 감지 범위(400ppm~50,000ppm)
- 16비트 마이크로 컨트롤러를 통해 온보드 프로그램 가능한 일체형 솔루션
- 백그라운드 캘리브레이션(background calibration)에서 장기적인 안정성을 확보
- RoHS 준수 및 그린 조달 지원