나노기술 및 정책 정보

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오사카(大阪)대학 산업과학연구소와 이탈리아 CNR-SPIN 연구원 등의 국제공동 연구그룹이 이산화바나듐의 구조 상전이를 이용한 마이크로 액츄에이터를 개발하고, 나노 수준의 정밀 변위 제어 및 고속 동작을 세계 최초로 실현함. 연구진은 70°C 부근에서 결정구조 상변화를 일으키는 이산화바나듐을 이용한 산화물 MEMS 기술에 의해 V자형 브릿지 구조를 디자인하고 약한 펄스 레이저 광조사(照射)를 통해 최대 2kHz의 속도로 수백 나노미터의 선형 변위를 일으키는 마이크로 액츄에이터를 실현함. 본 연구 성과는 산화물의 결정구조 변화를 이용하여 나노 수준의 정밀한 변위 제어와 MEMS 디자인으로 선형 변위를 일으키는 것을 규명한 것임. 결정구조 변화와 MEMS 디자인을 활용하여 나노 수준에서의 고속 동작 액추에이터 동작을 입증한 세계 최초의 사례임. 향후 MEMS 디자인이 보다 진행되게 되면. 회전 변위, 다축 변위가 가능한 고기능 마이크로 액츄에이터의 개발이 진행됨으로써 마이크로 로봇에도 응용될 것으로 기대됨.

본 연구 성과는 ‘Nano Letters’ (“Planar Nanoactuators Based on VO2 Phase Transition”) 지에 공개됨.