나노기술 및 정책 정보

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● 미쓰이화학은 연간 5,000장의 극자외선(EUV) 노광용 탄소나노튜브(CNT) 펠리클을 생산할 수 있는 설비의 자사 공장 도입 결정

● 차세대 EUV 노광장비는 0.55의 높은 렌즈수차(NA)와 고출력(≧600W)이 필요하며, 이 같은 노광 기술을 구현하려면 가혹한 노광 환경에 견딜 수 있는 신규 소재인 펠리클이 필요

● 미쓰이화학은 이 같은 수요에 대응하고자 높은 EUV 투과성(≧92%)과 1kW 이상의 노광 출력에 대한 내광성을 겸비한 CNT 펠리클을 사업화하기 위해 양산용 설비를 도입하기로 결정

● 미쓰이화학은 막 재료로 실리콘계 소재를 사용하는 기존 EUV 펠리클과 더불어 막 재료로 CNT를 사용하는 차세대 제품을 라인업에 추가해 반도체 고성능화와 생산성 향상에 기여할 예정