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● Takashi Nakajima 교수(Kyoto University) 연구팀은 베어 메탈 기판 대신 금속막을 증착시킨 금속 기판을 이용하여 레이저로 고품질의 초박막 구조를 만드는 데 성공

● 연구팀은 피코초 레이저를 이용해 10nm의 금속막을 증착시킨 금속 기판에서 금속막만 선택적으로 제거하는 데 성공하였으며, 가우스형 공간 강도 분포를 가진 레이저빔을 사용했음에도 불구하고 바닥 면이 V자 형이 아니라 평평한 구멍이 생긴 것을 확인

● 이어 연구팀은 레이저를 다중 조사하여 기판을 선 모양으로 가공한 결과, 림(가공흔 주변에 튀어나온 부분)이 거의 발생하지 않고 표면 거칠기가 1nm 이하로 가공 부위의 바닥 면이 거의 평평한 것을 확인

● 본 연구 성과는 고품질의 초박막 구조 제작을 가능하게 해 다층 박막 구조화에 응용이 가능할 것으로 기대

Optics & Laser Technology (2024.03.16.), Morphological study of depth-controlled high quality holes and lines fabricated on a metal substrate with a thin metal film by picosecond laser pulses