나노기술 및 정책 정보

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산업기술종합연구소 물질측정표준연구부문 입자계측연구그룹, 시마즈(島津) 제작소 분석계측 사업부의 공동 연구그룹이 10nm~40μm의 폭 넓은 사이즈의 입자를 분급할 수 있는 원심 유동장 분리 장치를 구축함. 최근 정밀한 크기 평가 및 정밀 사이즈 분급의 필요성이 크게 확대되고 있는데, 이는 수 nm 단위로 제어된 반도체 소자 패터닝 기술의 실용화 및 잠재 리스크 우려에 의한 나노재료 규제 등, 크기의 특성에 주목하여 실용화 및 규제가 진행되고 있기 때문임. 유동장 분리법은 폭 넓은 크기 범위의 입자를 분급할 수 있기 때문에 최근 유럽에서는 규제에 대한 평가에 사용할 수 있는 기술로 주목을 받고 있음. 연구진은 밀폐성과 고속회전을 양립시킨 독자적인 로터 회전기구를 제작, 이를 원심 유동장 분리 장치에 도입했으며, 이를 통해 안정된 원심가속도 15900G라는 높은 원심장이 실현됨(기존의 유럽산 장치의 경우 2700G이었음). 또한, 분리채널의 정밀설계를 통해 분급의 고해상도화와 분급시간 단축(절반으로)을 달성함으로써, 본 장치를 통해 단시간에 정확한 사이즈 분급을 이루었음. 본 장치와 이를 이용한 기술은 실용화 및 규제대응 단계에 있어 정밀 재료설계와 고정밀 소재 크기분포 분석에 기여할 것으로 기대됨.