나노기술 및 정책 정보

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독일의 보훔 루르 대학교 (Ruhr-Universität Bochum) 연구팀이 플라스틱을 코팅할 수 있을 정도로 낮은 온도에서 코팅할 수 있는 비 발화성의 아연 전구체를 기반으로 하는 새로운 제조 공정을 개발함. 일반적으로 산업계에서 산화아연 층의 적용은 상품의 열화를 막는 보호층에서부터 독성 질소 산화물 가스의 탐지에 이르기까지 다양함. 이러한 층은 공기와의 접촉시 즉시 점화되는, 즉 자연발화성인 전구체나 전형적인 화합물을 원자층 증착 (ALD)에 의해 증착 될 수 있음. 이산화질소(NO2)용 센서를 제조하려면 나노 구조 산화아연(ZnO)의 얇은 층을 센서 기판에 코팅한 다음 전기 부품에 통합해야 함. 연구팀은 ALD를 사용하여 이러한 센서 기판에 초박형 ZnO 층을 적용했음. ALD 공정의 화학은 필수적이며 최종적인 박막에 큰 영향을 미침. 지금까지 산업 제조업체는 ALD를 통해 반응성이 높고 발화성이 높은 아연 전구체를 사용하여 ZnO 박막을 생산해 왔음. 연구팀에서 ZnO를 위한 안전한 대체 ALD 공정 개발의 핵심은 취급하기에 안전하고 최고 품질의 ZnO 박막을 증착 할 수 있는 새로운 비발화성 전구체를 개발하는 것이었음.

본 연구 성과는 ‘Small’ ("Zinc oxide: from precursor chemistry to gas sensors: plasma-enhanced atomic layer deposition process engineering for zinc oxide layers from a nonpyrophoric zinc precursor for gas barrier and sensor applications") 지에 게재됨