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나노기술 및 정책 정보

중국 [중국/R&D] IV족 GeSn 나노 와이어 연구에서 혁신성과 취득

페이지 정보

발행기관
중국과학원(中国科学院)
저자
 
종류
 
나노기술분류
 
발행일
2020-05-21
조회
3,067

본문

중국과학원 상하이(上海) 마이크로 시스템 및 정보기술 연구소 산하 "정보기능 소재 국가 중점 실험실" 연구팀은 최근 관련 연구를 통해 GeSn 나노 와이어 성장 제조 및 광전기 탐사 측정 응용을 추진하는 연구에서 혁신성과를 취득하여 이슈가 되고 있음.

 

-소재는 일반적으로 우수한 광전기 특성을 보유하고 있는 상황이지만 SiCMOS 공법과 호환되지 않는 문제점이 존재하고 있기 때문에 족 소재의 광전기 응용 잠재력을 발굴해야 하는 필요성이 존재하고 있는 상황임.

 

현재 GeSn 필름 구조에 기반 한 광전기 검출 관련 연구개발 성과들은 보도되고 있지만 GeSn 필름과 Ge 완충 층 사이에는 비교적 큰 결정격자가 일치하지 않는 상황이 존재하여 GeSn 필름 결정체 품질에 심각한 영향을 끼치고 있기 때문에 비교적 큰 광전기 검출 디바이스 암 전류(dark current)를 생성시켜 저 전력 소모(low power consumption) 응용 수요에 영향을 끼치고 있는 상황임.

 

연구팀은 분자 빔 외연 기술을 이용하여 대 면적, 고 밀도, 높은 길이와 폭 비례를 보유한 Ge 나노 와이어를 개발하고, Ge 나노 와이어를 템플릿으로 사용하고 2차 침적 방법을 이용하여 Sn 그룹이 ~10% 수준에 도달하는 GeSn/Ge 이중 층 나노 와이어 구조를 취득하는데 성공하였음.

 

나노 와이어는 플렉시블 특성을 보유하고 있는 동시에 극히 높은 비표면적을 보유하고 있는데 연구팀은 탄성 형태 변화 방식을 통해 독자적으로 이완 방출을 실행하는 GeSn/Ge 간의 결정격자 불일치 상황을 도입한 응력을 이용하여 GeSn/Ge 인터페이스 위치에서의 결함 형성을 효과적으로 억제시키는데 성공하였음.

 

GeSn/Ge는 비교적 좁은 밴드 갭 폭을 보유하고 있기 때문에 GeSn/Ge 이중 층 나노 와이어에 기반 한 광전기 검출 디바이스는 Ge 나노 와이어 광전기 검출 디바이스에 비해 더욱 긴 탐사 측정 파장을 보유하고 있으며 2μm 이상 수준까지 연장할 수 있는 것으로 나타났음.

 

좁은 밴드 갭 GeSn이 발생시키는 암 전류를 증가시키기 위해 연구팀은 철전 특성을 보유하고 있는 P(VDF-TrFE) 이온 겔을 게이트 유전체로 도입하고, 측면 게이트에 대한 조정 제어를 통해 GeSn/Ge 이중 층 나노 와이어 광전기 검출 디바이스의 암 전류와 정지 상태 전력 소모를 대폭 감소시키고, 긴 파장과 낮은 암 전류를 보유하고 있는 광전기 검출을 실현하였음.

 

연구팀이 이번 연구를 통해 취득한 성과는 광전기 검출 연구 분야에서의 족 소재 나노 와이어 구조 응용을 확장하는 면에서 중요한 의미를 보유하고 있음.

 

본 연구 성과는 Nano Letters’ ("Ferroelectric Enhanced Performance of a GeSn/Ge Dual-Nanowire Photodetector")에 게재됨.