나노기술 및 정책 정보

• 목록

네덜란드 아인트호벤 공과대학교(Eindhoven University of Technology) 연구팀이 측정시 해상도를 높이는 온칩 감지 플랫폼을 위해 레이저와 검출기를 포함하여 완전히 통합된 소형 광학 센서를 개발함. 나노 일렉트로닉스 시대에서 측정 정확성은 시대의 요구임. 예를 들어, 가장 작은 표면 변화와 힘 및 움직임을 측정할 수 있는 광 기반 시스템인 초소형 나노 광학 기기로 나노구조를 모니터링 할 수 있음. 분해능과 속도가 필수적이므로 광 기계 시스템 기반의 광학 판독 센서는 원자력 현미경 (AFM)과 같이 감지 응용 분야에 자주 사용됨. 이 장치는 관심 표면에서 캔틸레버의 편향에 의해 반사된 레이저 광을 측정하여 나노미터 이하의 해상도 이미지를 생성할 수 있음. 그러나 AFM과 같은 기존의 레이저 기반 접근 방식은 부피가 커질 수 있으며, 더 낮은 비용과 더 높은 해상도에 대한 요구에 따라 다른 접근 방식이 필요함.

본 연구 성과는 ‘Nature Communications’ ("Integrated nano-optomechanical displacement sensor with ultrawide optical bandwidth")지에 게재됨