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나노기술 및 정책 정보

일본 [일본/R&D] 고분자 전해질 비눗방울로 EUV 발생에 성공

페이지 정보

발행기관
도쿄공업대학
저자
 
종류
 
나노기술분류
 
발행일
2020-04-13
조회
2,698

본문

도쿄공업대학(東京工業大學) 과학기술창성연구원 화학생명과학연구소 연구그룹이 고분자 전해질을 계면 활성제로 이용한 비누방울을 주형으로, 레이저의 저밀도 타깃(표적)이 되는 주석 박막 원을 만드는 데 성공함. 사용된 주석의 양은 비눗방울 1개당 4.2ng(나노그램)으로, 원자 수, 크기 제어 가능성도 높다. 실제로 레이저를 조사(照射)한 바, 금속 주석과 비슷한 13.5nm의 극단자외선(EUV, Extreme Ultra Violet) 발광을 확인함. 고분자 전해질의 거품은 이른바 매우 안정적인 비눗방울로 대량 생산에 적합함. 개발된 기술은 원리적으로는 주석뿐만 아니라 다른 원소에도 적용 할 수 있어 레이저 식으로 개발이 어려웠던 6.x nm 광원과 암 치료 등에 사용되고 있는 탄소 이온 빔용 타깃 등으로도 전개될 것으로 기대됨. 본 연구 성과는 ‘Scientific Reports’ (“Easy-handling minimum mass laser target scaffold based on sub-millimeter air bubble An example of laser plasma extreme ultraviolet generation”) 온라인 판에 게재됨.