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나노기술 및 정책 정보

일본 [일본/R&D] 고정밀 회전 타원 미러로 200nm 크기의 연 X선 나노빔 형성

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발행기관
Spring8
저자
 
종류
 
나노기술분류
 
발행일
2020-03-26
조회
2,926

본문

도쿄대학(東京大學), 고휘도광과학연구센터(JASRI) 등의 공동 연구그룹이 정확한 회전 타원 거울을 이용한 연 X선 나노빔 형성에 성공함. X선 분석에 사용하면 모양과 구조뿐만 아니라 재료의 조성과 화학 상태 분석이 가능함. X선 중에서도 연 X선 영역은 파장이 약 1nm~10nm, 자기 재료, 촉매 재료, 전지 재료 등의 분석에 이용되고 있음. 이러한 연 X선을 이용한 분석 기술의 공간 분해능, 측정 감도 등의 성능은 사용하는 연 X선 빔의 크기와 힘에 의해 결정됨. 연구진은 높은 집광 효율을 가진고정밀 회전 타원 미러를 이용함으로써 SPring-8의 연 X선을 200nm 크기에 집광하는 데 성공하고, 타이코그래피(Ptychography)법을 이용하여 연 X선 나노빔 정확한 진단법을 확립함. 향후 고정밀 미러를 사용한 연 X선 나노 빔 이용을 통해, 다양한 연 X선 분석법의 성능이 향상될 것으로 기대됨. 본 연구 성과는 ‘Applied Physics Letters’ (“Soft x-ray nanobeam formed by an ellipsoidal mirror”) 온라인 판에 게재됨.