미국 [미국/산업] PI, 정밀 에어 베어링을 사용한 XY 포지셔닝 스테이지 출시
페이지 정보
- 발행기관
- Nanowerk
- 저자
- 종류
- 나노기술분류
- 발행일
- 2020-03-11
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- 3,089
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세계적인 나노포지셔닝 솔루션의 선두주자인 ‘PI’는 소형 A-311 제품군에 평면 XY 에어 베어링 스테이지를 추가함. ‘PI’의 미국에 있는 ‘에어베어링 R&D 및 제조팀’은 200x200mm 및 300x300mm의 이동 범위를 가진 2개의 새로운 버전을 개발함. 평면 스캐닝 스테이지는 반도체 검사, 레이저 마킹, 광학 계측 및 기타 정밀 모션 어플리케이션의 적용에 이상적임.
소형 A-311 에어 베어링 평면 시리즈는 하드 코트 알루미늄베이스와 2개의 모터를 사용하여 기존 화강암 기반 평면 XY 스테이지와 비교하여 크기, 무게 및 비용을 줄였음. 탁월한 모션 충실도, 예를 들어 300mm 이상의 1µm 직진도 (10mm 당 10nm) 및 300mm 이상의 10µrad 직교성. 통합된 절대 측정 선형 인코더는 1nm 해상도, 0.1µm 양방향 반복성, 0.2µm 정확도를 제공함.
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