나노기술 및 정책 정보

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아르곤 국립 연구소 연구팀이 점점 작아지지만 복잡한 장치를 만드는 데 도움이 되는 새로운 기술을 개발. 반도체 장치와 같은 마이크로 일렉트로닉스는 우리가 매일 사용하는 기술의 핵심으로 무어 법칙의 한계를 넘어서고 있는 시대에 접어들면서 컴퓨터의 속도와 기능을 향상시키기 위해 각 개별 장치에 더 많은 회로를 계속 집적할 수 있는 새로운 방법으로 주목받고 있음. 본 연구 성과는 ‘Chemistry of Materials’ ("Molecular Layer Etching of Metalcone Films Using Lithium Organic Salts and Trimethylaluminum")지에 게재됨