나노기술 및 정책 정보

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중국과학원 상하이(上海) 기술물리 연구소 연구팀은 새로운 반도체 재료에 기반한 마이크로 나노 광전자, 전자 디바이스 제조 기술을 개발함으로써 반도체 마이크로 나노 디바이스 제조 공정을 대폭 간소화하는데 성공.

연구팀은 극성을 보유하고 있는 강유전 박막을 나노 두께로 가공하고 나노 프로브를 이용하여 광전자 검출 디바이스, 메모리 디바이스 등 마이크로 나노 디바이스를 제조하는 분야에 응용.

이번 연구를 통해 개발한 기술은 반도체 디바이스 제조 공법 프로세스를 대폭 간소화 할 수 있으며, 동 기술을 응용하여 제조한 광전자 탐사 디바이스 응답 비율은 동일 유형 디바이스 응답 비율보다 300배나 향상되는 것으로 나타났으며, 준(準) 비휘발성 메모리의 유지 시간은 10배 이상이나 향상되는 것으로 나타났음.

본 연구 성과는 ‘Nature Electronics’지에 게재됨.