EU [유럽/R&D]비파괴적 3차원 실리콘 나노 구조 내부 이미지 구현법 개발
페이지 정보
- 발행기관
- ScienceX
- 저자
- 종류
- 나노기술분류
- 발행일
- 2019-12-23
- 조회
- 2,449
본문
네덜란드, 트벤테 대학교(University of Twente)의 연구팀이 3차원 나노구조의 내부를 비파괴적으로 확인하는 새로운 방법을 제시함.
기존의 3차원 나노구조체를 확인하기 위해서는 기판에 대한 파괴적인 시료 전처리가 필요하였으나, 이번에 제시된 방법은 X-ray를 이용하여 단층촬영(TXT: traceless X-ray tomography)을 진행함으로써 두꺼운 실리콘구조의 내부 구조를 이미지화시키는데 성공함.
본 연구 성과는 ‘ACS Nano’에 게재될 예정임.
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