중국 [중국/산업]상팡(上方), 8.6세대 신형 디스플레이 PVD 설비 시스템의 양산 가동
페이지 정보
- 발행기관
- 절강재선(浙江在线)
- 저자
- 종류
- 나노기술분류
- 발행일
- 2019-12-06
- 조회
- 2,467
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저장(浙江) 상팡(上方) 전자 장비 유한회사의 중국 최초의 국산 반도체 디스플레이 핵심 장비인 8.6세대 신형 디스플레이 PVD(물리기상증착) 설비가 최근 중국 내 설비 사용자 디스플레이 스크린 생산 업체로부터 설비 가동후 양산에 들어감.
디스플레이 스크린 생산 업체가 사용하는 설비는 상팡(上方) 전자 장비 유한회사에서 독자적으로 연구 개발하여 제조한 중국 최초의 국산 반도체 디스플레이 핵심 장비인 8.6세대 신형 디스플레이 PVD(물리기상증착) 설비로서 2019년도 상반기에 순조롭게 디스플레이 스크린 생산기업에 납품하였고 최근에 공식적으로 생산 상태에 들어간 상황이라고 함.
장비 업체 관계자의 설명에 따르면, "상팡(上方) 전자 장비 유한회사"는 현재 이미 성공적으로 5.5세대 반도체 디스플레이 PVD 설비를 연구 개발한 상황이며, 현재 고객사에서 사용하고 있는 8.6세대 신형 디스플레이 PVD(물리기상증착) 설비의 판매 가격은 몇 1,000만 위안에 달하며, 반드시 사용자의 생산 상황을 밀접하게 주시해야 하는 상황이라고 함. 상팡(上方) 전자 장비 유한회사에서 독자적으로 연구개발한 PVD 설비는 5.5세대로부터 8.6세대까지 업그레이드 된 상황이며, 설비의 코팅 막 면적은 4배 이상 증가되었고, 이와 관련된 부품은 1.2만개에 달함. 해당 PVD 설비는 기능성 나노 박막재료를 빅 사이즈 유리 기판에서 연속적으로 생산할 수 있게 되었으며, 나노 박막의 균일성은 5% 이내에 도달하였고, 재료 이용 비율은 80%를 초월하였으며, 주요 지표는 국제 선진수준에 도달했다고 여겨짐.
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